NP-10
氮化硅探针
用于接触式、轻敲式和力的测量
每个基片有4个悬臂,弹性系数为0.06 - 0.58 N/m
包装数量:10根/盒
针尖参数
几何:各向异性
针尖高度(h): 2.5 - 8.0µm
正面角 (FA): 15 ± 2.5°
背面角 (BA): 25 ± 2.5°
侧面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
针尖曲率半径(Nom): 20nm
针尖曲率半径(Max): 60nm
针尖缩进 (TSB)(Nom): 4µm
针尖缩进范围(TSB)(RNG): 0 - 7µm